晶圆产品参数

电学参数  

UID
：1×10¹⁶~5×10¹⁷ cm^-3

；Sn：≥1×10¹⁸ cm^-3；Fe：绝缘≥1×10¹⁰ Ω·cm

晶面
：(100)

双晶摇摆半高宽
：≤150”

位错密度：<1×10⁵ cm^-2

目前参考尺寸

：2 inch

参考边：[010]方向

加工指标  

晶面偏差：<±1°


；直径

：50.8 mm±0.3 mm


；厚 度
： 0.65 mm ± 0.05mm

；单面抛光
，Ra<0.5 nm

产品外形示意图