晶圆产品参数

掺杂


：Sn

导电性：n

晶面






：(100)

双晶摇摆半高宽
：≤250”

载流子浓度：≥1×10¹⁸ cm^-3

位错密度：<1×10⁵ cm^-2

目前参考尺寸
：4 inch

参考边


：[010]方向

加工指标






：晶面偏差

：<±1°
；直径：100.0 mm±0.5 mm；厚 度
： 0.65 mm ± 0.02 mm


；单面抛光

，Ra<1 nm

产品外形示意图